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L300N/300ND
    發布時間: 2022-08-10 16:09    

集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統,在亮度、對比度和可操作性能方面都達到最新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

L300N/300ND
FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型

 集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統,在亮度、對比度和可操作性能方面都達到最新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

  • 最大觀察樣品:?300 mm晶片
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  • 觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
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  • 使用CFI60光學系統,徹底消除耀斑影響,對比度更高,成象更加清晰、明亮;
  • 物鏡齊焦距為60mm,可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求;
  • 主機剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;
  • 光亮調節、孔徑調節、物鏡轉換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產生疲勞;
  • L300ND/反射.透射照明兩用型


  • 規格


    ECLIPSE L300NECLIPSE L300ND
    (落射照明型)(透射/落射照明型)
    主機

    內置12V-50W鹵素燈光源;內置用于電動控制器的電源

    用于物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈亮度控制、

    光圈葉片控制器


    物鏡轉換器:具備物鏡轉換器

    對中功能的電動通用六座物鏡轉換器

              —反射/透射切換器
    調焦
               部分

    對焦部:行程29mm

    粗調:12.7mm/轉(可扭距調節.帶重新對焦機能)

    微調:0.1mm/轉(以um為單位)

    反射
               照明部

    12V50W高亮度鹵素燈照明裝置

    孔徑光闌(電動.可調心)、視場光闌(固定.帶對焦目標)

    可插入小孔光闌滑塊(OPTION)

    可插入∮25mm濾光片(NCBND2ND4)、起偏器/檢偏器

    觀察方法:明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光

    (僅用于L300N/L300ND/L200ND

    透射
               照明部
             —

    12W50W高亮度鹵素燈
               照明裝置

    內置孔徑光闌

    內置LWD聚光器

    接口USBx1RS232C(用于Intensilight)x1
    鏡筒

    L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒(視角030°

    視場數25、光分光100:0/0:100

    L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒(俯角0~30°)

    視場數25、光分光100:0/20:80

    LV-T13正立三目鏡筒

    視場數25、光分光100:0/0:100

    目鏡CFI目鏡
    物鏡CFI60系列物鏡

    載物臺

    14x12載物臺、行程354mmx302mm

    (透射觀察范圍:354mmx268mm

    帶粗/微動切換功能

    微動手輪位置固定

    防靜電
               功能
    從1000到10V放電時間在0.2秒以內
    耗電1.2A/90W
    尺寸約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時)
   


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